電子廠廢氣處理方（fāng）法——低溫等離子技術

電子廠涉及到的行業很多，不同行業在工藝上有一定（dìng）差異，產生的廢氣種類也有一定（dìng）的差異，今天就從半（bàn）導（dǎo）體行業入手為大家介紹電子廠廢氣處理。電子廠半導（dǎo）體廢氣的處理主要（yào）針對半導體行業有機廢（fèi）氣和毒性氣體的治理，天天操天天爱综合嚐試使用低溫（wēn）等離子廢氣處理技術（shù）。半導體行業產生的有機廢氣，主要可以分為，半導體製造工藝產生的有機廢（fèi）氣，和半導體封（fēng）裝工藝產生（shēng）的有機廢氣。

1、廠（chǎng）家處理有機廢氣（qì）和毒氣的處理方（fāng）法

現在，半導體製造（zào）過程中排放的含有有機成分的廢氣(voc)通常采（cǎi）用（yòng）直（zhí）接焚（fén）燒、活性炭吸附、生物氧化等方（fāng）法進行（háng）處理。

2、針對電子廠（chǎng）廢氣處理半導體行業有（yǒu）機廢氣和毒性（xìng）氣體的治（zhì）理，低溫等離子廢氣處理技術的淨化原理是：

將普通的220V/380V交流電通過變（biàn）壓器，變頻器（qì）轉換為高頻高壓的電壓，產（chǎn）生足以擊穿（chuān）氣體的電壓，釋放出高能電子，高能電子破壞有機廢氣中（zhōng）的氣體分（fèn）子之間的（de）化學鍵，斷開這些化學鍵從而產生了各種碳（tàn）原子、氧原子、氫原子、氫氧自由（yóu）基、臭氧等混合體，等離子體中的氧原子和碳原子結合形成二氧化（huà）碳，氧原子和氫原子結合形成水分子，最終產生排放（fàng）到大氣（qì）中的氣體為無（wú）汙染的二（èr）氧化碳（CO2）和水(H2O)。

3、電子廠廢氣處理低（dī）溫等離子廢氣處理技術具有以下優點：

• 放電產生的（de）低溫等離子（zǐ）體中，電子能量高，幾乎可以和所（suǒ）有的惡臭氣體分子作用。
• 反應快，不受氣速限（xiàn）製（zhì）。
• 采用防腐蝕材料（liào）。
• 隻需用（yòng）電，操作極為簡單。
• 設備啟動、停止十（shí）分迅速（sù），隨用隨（suí）開，常溫常（cháng）壓下即能使用。
• 氣阻小（xiǎo），適用於大風量的廢氣處理。

4、電子廠廢氣處理低溫等離子廢氣處理技（jì）術應用（yòng）領域：集成電路生產企業、分立器件生產（chǎn）企業、光電組件生產（chǎn）企業。

5、半導體企業廢氣排放特征分析

半導體行業（yè）廢氣排放具有排氣量大、排放濃度小的特點。

6、半導體行業有機廢氣和毒氣的來源

• 半（bàn）導（dǎo）體製造工藝產生的揮發性有機廢（fèi）氣，主要來源於光刻、顯（xiǎn）影、刻蝕及擴散等工序
• 與半（bàn）導體製造工藝相比，半導（dǎo）體封裝工藝產生的有機廢氣較為簡單，主要為（wéi）晶粒粘貼、封膠後烘烤過程產（chǎn）生的烘烤廢氣（qì）。
• 含毒氣性廢氣，其來源為化學（xué）氣相沉積、幹蝕刻機、擴散、離子（zǐ）布值（zhí）機及磊晶等製程（chéng）時所產生。主要成分是（shì）磷化氫等（děng）。

電（diàn）子廠廢氣處理半導體（tǐ）低溫等離子技術，在（zài）實際設計中，需要加洗滌塔作為預處理（lǐ）裝置，來攔截粉（fěn）塵和易（yì）溶性的酸堿廢（fèi）氣。今天就為大家介紹到這裏了，如果您想要了（le）解詳細的設計方案，可（kě）以打電話向天天操天天爱综合谘詢：17306171723。