半導體廢（fèi）氣處理
一、半導廢氣處理成份
半（bàn）導（dǎo）體行業廢氣主要成分為有機廢氣和酸堿廢（fèi）氣兩類。有機類成分：非甲（jiǎ）烷（wán）總烴、氮氧化物、二氧化硫等，酸堿類成分：氨氣、硫酸（suān）霧、氟化物、氯化物、氯氣等。
二、行業排放標準
三、半導體（tǐ）廢氣處理方法
一般半導體行業針對廢氣處理的解決方案如下：
(1)預處理階段：采用噴淋塔先對廢（fèi）進行（háng）預處理，去除粉塵以及（jí）易溶於水的有（yǒu）害氣體。
(2)主（zhǔ）要（yào）處理階段：在此階段，比較（jiào）常見而有效方法有（yǒu）：UV光解，生（shēng）物（wù）過濾分解，焚燒和（hé）催化燃燒等。
由於（yú）每（měi）家企業具（jù）體（tǐ）產生的廢氣成分、風量大小、廢氣濃度（dù）不同，所以采用（yòng）的（de）半導（dǎo）體廢氣處（chù）理方法也（yě）會不同或者需要（yào）多種方法結合使用，具體處理方案可以谘詢天天操天天爱综合，我（wǒ）們將有工程師一（yī）對一為您定（dìng）製廢氣處理方案。
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